x

Zoek resultaten

Loading...


Metingen in halfgeleiderindustrie

 

Bij de productie van IC's (Integrated Circuits, ofwel chips) wordt gewerkt aan kleiner, smaller, scherper, sneller, meer, goedkoper, etc. Op 300 mm wafers worden steeds meer chips gemaakt, met kleinere spoorbreedte en met betere overlap (overlay). Heel kort samengevat wordt een wafer (een Siliciumplaat die extreem vlak is) bewerkt, belicht, geëtst, bewerkt, belicht, geëtst, etc. Bij deze cycli worden laagjes met elektrische geleidende sporen afgewisseld met isolerende laagjes. Die elektrisch geleidende laagjes moeten op bepaalde punten wel met elkaar contact kunnen maken. Hierbij wordt de wafer dus verschillende malen in verschillende machines bewerkt. 780S-UHP

Tegenwoordig zijn die spoorbreedtes in de orde van grootte van een paar 10-tal nm (nanometer, is 10-9 meter). En de lat wordt steeds hoger gelegd! Inmiddels kan een overlay van 2 nm bereikt worden. Om dat eens in perspectief te plaatsen: het is vergelijkbaar met het oppakken van geheel Europa en vervolgens dat continent met een nauwkeurigheid van een paar millimeter weer op exact dezelfde plaats terug te leggen! Ook hierbij lijkt het einde van wat mogelijk zou zijn nog niet in zicht.

Wanneer stofdeeltjes tijdens het IC-productieproces op de wafer komen leidt dit tot niet of incorrect werkende chips. De opbrengst wordt lager, de kosten worden hoger, en dat is wat men natuurlijk tracht te voorkomen. Ultra High Purity (UHP) is het sleutelwoord. Andere storende factoren zijn soms organische componenten in de omgeving van lichtbronnen.FM-3100 serie

Vloeistof- en gasstromen dienen zuiver te zijn, zonder deeltjes. Flowmeters die gebruikt worden om het proces te regelen of bewaken mogen natuurlijk geen deeltjes afgeven. Daarom vinden wij in de halfgeleider processen bijvoorbeeld geen turbine flowmeters of andere instrumenten met bewegende delen.

Voor gas zijn thermische flowmeters populair. Voor kleine gasstromen is de bypass techniek de betere optie, terwijl voor de bulkgas applicaties, zeg maar de gashoeveelheden van meer dan 1000 NLPM, de immersie thermische flowmeters de beste keuze.

Voor de debietmeting van kleine hoeveelheden UPW (Ultra Pure Water) en chemicaliën genieten kleine vortexmeters of ultrasone flowmeters in bijvoorbeeld PFA de voorkeur. Het materiaal PFA is uiterst geschikt voor deze vloeistoffen omdat het resistent is tegen chemicaliën en ook UPW (dit omdat het zo zuiver is en daardoor eveneens corrosieve eigenschappen heeft). De genoemde meettechnieken zijn voldoende nauwkeurig en hebben geen bewegende delen, waardoor geen deeltjes worden gegenereerd.

 
Halfgeleiderindustrie